FFU（風扇過濾機組）是什麼
FFU（風扇過濾機組）是將送風風扇與 HEPA/ULPA 濾網整合為一體，從天花板向下吹送潔淨空氣的機組。無塵室的潔淨度，就是靠這股垂直層流持續將產生的微粒推往地板方向來維持。可逐台調整風量，因此能配合設備配置的變更重新規劃氣流，這是與中央空調方式的不同之處。由於台數多、耗電量大，佔晶圓廠用電的相當比例，馬達效率與風量控制是節能的主要改善對象。
重點整理
將風扇與 HEPA/ULPA 濾網整合，從天花板送出潔淨空氣
以垂直層流將產生的微粒推往地板方向以維持潔淨度
可逐台調整風量，因應配置變更
台數多、耗電量大，是節能的主要對象
相關用語
比較文章
無塵室零組件的其他分類
高架地板・地板材
高架地板・地板材是讓無塵室的垂直層流向地板下方排出，同時供配管・配線通過的地板結構。
HEPA/ULPA 空氣濾網HEPA/ULPA 空氣濾網是捕集空氣中微粒、建立無塵室潔淨度的核心構件。
風淋室・傳遞箱風淋室・傳遞箱是人員或物品進入無塵室時，去除附著微粒的入口設備。
化學濾網（AMC 去除）化學濾網是去除氣態汙染物質（AMC：氣態分子汙染物）而非微粒的濾網。
無塵工作台無塵工作台是只將作業面極有限的空間保持在高潔淨度的局部潔淨設備。
無塵衣・手套無塵衣・手套是防止作業者產生的微粒釋放到無塵室內的穿戴用品。
無塵室量測・運轉管理無塵室量測・運轉管理是持續量測潔淨度、溫濕度、壓差、氣流等環境參數，並將其維持在基準內的量測儀器與管理機制。
器具・黏塵墊・洗衣設備器具・黏塵墊・洗衣設備是在無塵室使用的備品，以及維持其潔淨度的周邊設備。
離子產生器（靜電消除）離子產生器（Ionizer）是向空氣中供給正負離子，中和帶電物體靜電的設備。