無塵工作台是什麼
無塵工作台是只將作業面極有限的空間保持在高潔淨度的局部潔淨設備。不必把整個房間做到 Class 1，而是只潔淨化需要的地方，可大幅降低設備投資與運轉成本。有朝作業者方向吹出潔淨空氣的水平層流型、由上往下送風的垂直層流型，處理化學藥液時則使用伴隨抽氣以保護作業者的排氣櫃型。迷你晶圓廠（Minimal Fab）與局部潔淨化的概念，可說是將這種工作台的發想擴展到整台設備。
重點整理
只將作業面有限空間保持高潔淨度的局部潔淨設備
比整個房間潔淨化的設備投資與運轉成本更低
依用途分別使用水平層流型・垂直層流型・排氣櫃型
相當於局部潔淨化與迷你晶圓廠發想的原型
相關用語
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無塵室零組件的其他分類
高架地板・地板材
高架地板・地板材是讓無塵室的垂直層流向地板下方排出，同時供配管・配線通過的地板結構。
HEPA/ULPA 空氣濾網HEPA/ULPA 空氣濾網是捕集空氣中微粒、建立無塵室潔淨度的核心構件。
風淋室・傳遞箱風淋室・傳遞箱是人員或物品進入無塵室時，去除附著微粒的入口設備。
化學濾網（AMC 去除）化學濾網是去除氣態汙染物質（AMC：氣態分子汙染物）而非微粒的濾網。
無塵衣・手套無塵衣・手套是防止作業者產生的微粒釋放到無塵室內的穿戴用品。
無塵室量測・運轉管理無塵室量測・運轉管理是持續量測潔淨度、溫濕度、壓差、氣流等環境參數，並將其維持在基準內的量測儀器與管理機制。
器具・黏塵墊・洗衣設備器具・黏塵墊・洗衣設備是在無塵室使用的備品，以及維持其潔淨度的周邊設備。
FFU（風扇過濾機組）FFU（風扇過濾機組）是將送風風扇與 HEPA/ULPA 濾網整合為一體，從天花板向下吹送潔淨空氣的機組。
離子產生器（靜電消除）離子產生器（Ionizer）是向空氣中供給正負離子，中和帶電物體靜電的設備。