器具・黏塵墊・洗衣設備是什麼
器具・黏塵墊・洗衣設備是在無塵室使用的備品，以及維持其潔淨度的周邊設備。器具以不鏽鋼或樹脂製成不發塵的結構，黏塵墊則在入口處捕捉鞋底的微粒。無塵擦拭布、無塵紙、專用書寫工具等帶入室內的耗材，全都需要低發塵等級。無塵衣專用的洗衣設備可去除一般洗衣機洗不掉的微粒，並在不損傷布料的前提下反覆使用，是維持無塵衣性能的前提。
重點整理
器具・黏塵墊・擦拭布等室內使用的低發塵備品
器具以不發塵的材質與結構為前提
帶入的耗材全都需要無塵室等級
無塵衣專用洗衣設備維持穿戴用品的性能
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無塵室零組件的其他分類
高架地板・地板材
高架地板・地板材是讓無塵室的垂直層流向地板下方排出，同時供配管・配線通過的地板結構。
HEPA/ULPA 空氣濾網HEPA/ULPA 空氣濾網是捕集空氣中微粒、建立無塵室潔淨度的核心構件。
風淋室・傳遞箱風淋室・傳遞箱是人員或物品進入無塵室時，去除附著微粒的入口設備。
化學濾網（AMC 去除）化學濾網是去除氣態汙染物質（AMC：氣態分子汙染物）而非微粒的濾網。
無塵工作台無塵工作台是只將作業面極有限的空間保持在高潔淨度的局部潔淨設備。
無塵衣・手套無塵衣・手套是防止作業者產生的微粒釋放到無塵室內的穿戴用品。
無塵室量測・運轉管理無塵室量測・運轉管理是持續量測潔淨度、溫濕度、壓差、氣流等環境參數，並將其維持在基準內的量測儀器與管理機制。
FFU（風扇過濾機組）FFU（風扇過濾機組）是將送風風扇與 HEPA/ULPA 濾網整合為一體，從天花板向下吹送潔淨空氣的機組。
離子產生器（靜電消除）離子產生器（Ionizer）是向空氣中供給正負離子，中和帶電物體靜電的設備。