無塵室量測・運轉管理是什麼
無塵室量測・運轉管理是持續量測潔淨度、溫濕度、壓差、氣流等環境參數，並將其維持在基準內的量測儀器與管理機制。微粒計數器監控微粒數，AMC 監測器監控分子汙染，壓差計監控各室之間的壓力平衡。潔淨度會逐漸惡化，等到異常發生才量測就太遲了，因此以持續監控、從趨勢掌握為前提。量測點的配置與警報門檻的設計，決定了無謂警報與漏檢之間的平衡，是實務上的要點。
重點整理
持續量測潔淨度・溫濕度・壓差・氣流並維持在基準內
主要量測儀器為微粒計數器・AMC 監測器・壓差計
潔淨度會逐漸惡化，因此以趨勢監控為前提
量測點配置與警報門檻的設計是實務上的要點
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高架地板・地板材
高架地板・地板材是讓無塵室的垂直層流向地板下方排出，同時供配管・配線通過的地板結構。
HEPA/ULPA 空氣濾網HEPA/ULPA 空氣濾網是捕集空氣中微粒、建立無塵室潔淨度的核心構件。
風淋室・傳遞箱風淋室・傳遞箱是人員或物品進入無塵室時，去除附著微粒的入口設備。
化學濾網（AMC 去除）化學濾網是去除氣態汙染物質（AMC：氣態分子汙染物）而非微粒的濾網。
無塵工作台無塵工作台是只將作業面極有限的空間保持在高潔淨度的局部潔淨設備。
無塵衣・手套無塵衣・手套是防止作業者產生的微粒釋放到無塵室內的穿戴用品。
器具・黏塵墊・洗衣設備器具・黏塵墊・洗衣設備是在無塵室使用的備品，以及維持其潔淨度的周邊設備。
FFU（風扇過濾機組）FFU（風扇過濾機組）是將送風風扇與 HEPA/ULPA 濾網整合為一體，從天花板向下吹送潔淨空氣的機組。
離子產生器（靜電消除）離子產生器（Ionizer）是向空氣中供給正負離子，中和帶電物體靜電的設備。