最後更新:2026年10月23日PVD 設備

Endura Impulse PCRAM PVD的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・PVD 設備

用於量產相變記憶體(PCRAM)與電阻式記憶體(ReRAM)的整合式 PVD 系統。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Endura Impulse PVD 是應用材料面向相變記憶體(PCRAM)與電阻式記憶體(ReRAM)量產的整合式 PVD 系統。兩者都是填補資料處理用 DRAM 與儲存用 NAND 之間價格・效能缺口的新型非揮發性記憶體。

在最多 7 個沉積腔之外,組合預清洗・退火・除氣腔。以多項經過驗證的 PVD 技術,精密沉積能以低功耗加快讀取的化合物材料。

以專用的 Impulse GST PVD 腔體,沉積在非晶態與結晶態之間切換而改變電阻的相變材料。在 AI 使資料量與功耗增加的情況下,有助於實現高速、省電的記憶體。

主要規格

方式PVD 整合系統(最多 7 個沉積腔)
對象PCRAM・ReRAM
特點GST 相變材料用 Impulse GST 腔體

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

最多 7 個沉積腔
GST 相變材料用腔體
支援 PCRAM・ReRAM 量產

主要用途

  • 相變記憶體(PCRAM)
  • 電阻式記憶體(ReRAM)

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Endura Impulse