Endura PVD 是應用材料(Applied Materials)所稱「半導體產業史上最成功的金屬化系統」的 PVD(物理氣相沉積)平台。從鈷、鎢的前段製程導線、鋁・銅導線,到 UBM 等封裝用途都廣泛使用;廠商表示,過去20年間製造的微晶片大多是以 Endura 生產。
可在嚴格控制膜厚的情況下,以優異的底部覆蓋率與高順應性(conformality)沉積多種超高純度薄膜。含 2 個預清洗(去除自然氧化層)腔在內,最多可搭載 9 個製程腔體,並可組合腔體構成一連串多步驟製程。
在 150mm/200mm 方面,功率元件、MEMS、RF、光子學、TSV 等 More than Moore 用途,需要以低溫沉積 Sc 摻雜 AlN、PZT、AlN、ITO、Al₂O₃、Ge 等新材料的厚而均勻薄膜。設備也具備考量透明 SiC 晶圓傳送的功能。