Endura Clover MRAM PVD 是應用材料面向 MRAM(磁阻式隨機存取記憶體)量產的整合式 PVD 系統。據廠商資料,這是首個可用於量產的 MRAM 用整合材料解決方案。
MRAM 以電阻變化記憶資訊,因此比以電荷運作的快閃記憶體更容易微縮,並具備非揮發・隨機存取・高耐久性。其堆疊超過 30 層,且多數僅有數 Å 厚。
在最多 7 個沉積腔之外,組合預清洗・退火・冷卻腔與機上量測,在不破真空的情況下製作整體堆疊。防止膜劣化、提升層間介面品質,也使膜厚量測更準確。核心腔體 1 腔最多可沉積 5 種材料。