最後更新:2026年10月23日PVD 設備

Endura Clover MRAM PVD的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・PVD 設備

面向 MRAM 量產的 PVD 系統。在不破真空的情況下一貫沉積超過 30 層的堆疊膜。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Endura Clover MRAM PVD 是應用材料面向 MRAM(磁阻式隨機存取記憶體)量產的整合式 PVD 系統。據廠商資料,這是首個可用於量產的 MRAM 用整合材料解決方案。

MRAM 以電阻變化記憶資訊,因此比以電荷運作的快閃記憶體更容易微縮,並具備非揮發・隨機存取・高耐久性。其堆疊超過 30 層,且多數僅有數 Å 厚。

在最多 7 個沉積腔之外,組合預清洗・退火・冷卻腔與機上量測,在不破真空的情況下製作整體堆疊。防止膜劣化、提升層間介面品質,也使膜厚量測更準確。核心腔體 1 腔最多可沉積 5 種材料。

主要規格

方式PVD 整合系統(最多 7 個沉積腔)
對象MRAM 的整體堆疊(超過 30 層)
特點1 個腔體最多 5 種材料・機上量測

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

一貫沉積 MRAM 整體堆疊
最多 7 個沉積腔
1 個腔體最多 5 種材料
機上量測

主要用途

  • MRAM 量產

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Clover MRAM