Endura Ioniq W PVD的特點與規格

Endura Ioniq W PVD 是應用材料的鎢（W）接觸窗用整合材料解決方案。微縮使接觸窗變細時電阻增加，RC 延遲使速度下降，功耗也增加。

將傳統由 TiN 襯墊層、W 成核層、塊材 W 填充構成、電阻較高的多台設備組合，改為 1 層 PVD W 與塊材 CVD W 的一貫處理。這是首次將 CVD 與前處理腔體組合在 1 個高真空平台上的配置。

Ioniq PVD 腔體提高離子化程度並控制粒子方向，以均勻的階梯覆蓋率沉積純鎢膜。此膜即成為低電阻的阻障層兼襯墊層。