Producer XP Precision CVD 是應用材料以 Twin Chamber 設計發展而來的 CVD 系統。其結構經重新設計,以最佳化腔體環境與製程參數之間的交互作用,實現從平面結構轉向 3D 結構所需的薄膜沉積均勻性。
在平面元件中,CD 控制是水平面上的問題,考驗的是微影精度;但在 3D 結構中,關鍵尺寸轉向垂直方向,要求也轉移到薄膜沉積。在交替堆疊不同材料的 3D NAND 中,各層的不均勻會逐層累積並傳遞,因此薄膜沉積的均勻性最為重要。
Precision 系統也使 Saphira APF 這類具備高選擇比、低應力、高透明度的新型硬遮罩薄膜成為可能。這類薄膜能承受層數持續增加的 3D NAND 長時間蝕刻,以及先進 DRAM 的高深寬比加工。藉由 Producer 主機與高速傳送協定,可獲得高產能密度。