装置・材料メーカー
装置制御ソフトウェアエンジニア
最終更新：2026-09-21
この職種は何をするのか
装置制御ソフトウェアエンジニアは、半導体製造装置を動かすソフトウェアを開発する職種です。ウェハをどの順番でどのチャンバーへ運ぶかという搬送スケジューリング、ガス流量・温度・RF電力をレシピどおりに制御するプロセス制御、工場のホストコンピュータとつながるSECS/GEM通信、そして装置データの収集と解析までが守備範囲です。装置の付加価値に占めるソフトウェアの比重は年々高まっています。
仕事内容
搬送シーケンスとスケジューリング
複数のチャンバーとロボットを持つ装置で、ウェハを待たせずに流す順番を計算します。スケジューリングの出来がそのまま装置のスループットになります。
プロセス制御とインターロック
マスフローコントローラ・ヒーター・RF電源などのデバイスをレシピどおりに動かし、異常時には安全に停止させるインターロックを実装します。
ホスト通信と工場システム連携
SECS/GEMなどの業界標準で工場のMESと通信し、レシピの受け取りや処理結果の報告を行います。顧客工場ごとの仕様の違いへの対応も大きな仕事です。
データ収集と装置インテリジェンス
センサーデータを収集して終点検出、異常検知、予知保全、自動補正の機能を作ります。装置メーカーの差別化が最も進んでいる領域です。
担当する工程・装置
必要になる知識・用語
主な企業
関連する技術比較
よくある質問
Web系・業務系のソフトウェアエンジニアでも転職できますか？
できます。装置のGUI、データ解析、工場システム連携などは、Web系・業務系の経験がそのまま生きる領域です。リアルタイム制御の部分は組込み経験者が有利です。
どんな言語が使われていますか？
装置本体の制御にはC/C++やC#、データ解析や自動化スクリプトにはPythonが多く使われます。PLCや組込みの制御層を持つ装置もあります。
CIMエンジニアとの違いは？
装置制御ソフトのエンジニアは装置メーカー側で「1台の装置の中」を作り、CIMエンジニアはデバイスメーカー側で「工場全体の装置をつなぐ仕組み」を作ります。SECS/GEMが両者の接点です。