装置の電気・制御設計エンジニア
この職種は何をするのか
装置の電気・制御設計エンジニアは、半導体製造装置の中で電気を配り、センサーの信号を読み、ヒーター・バルブ・モーター・RF電源を狙いどおりに動かす仕組みを設計する職種です。機械設計が装置の「体」を、ソフトウェアが「頭脳」を作るとすれば、電気・制御設計はその間をつなぐ「神経と筋肉」を作ります。温度・圧力・ガス流量を秒単位以下で安定させる制御の品質が、そのままプロセスの再現性になります。
仕事内容
電気回路と配電の設計
装置全体の電源系統、ヒーターやポンプの動力回路、センサーの信号系を設計し、盤の配置と配線を決めます。ノイズ対策とメンテナンス性も設計の段階で作り込みます。
温度・圧力・流量の制御設計
ヒーター、圧力制御バルブ、マスフローコントローラをPID制御などで動かし、応答速度とオーバーシュートを調整します。プロセスの立ち上がりの速さはスループットにも効きます。
RF電源とプラズマ系の電気設計
エッチングやCVD装置では、RF電源と整合器、静電チャックの電源系を扱います。高電圧・高周波を安全に扱う設計が求められます。
安全規格とファブ通信への対応
SEMI S2などの安全規格、インターロックの設計、SECS/GEMでのホスト通信の信号定義を担当します。顧客ごとの要求仕様への対応も多い仕事です。
担当する工程・装置
必要になる知識・用語
主な企業
よくある質問
電気系の出身でないと難しいですか？
電気電子系の出身者が中心ですが、制御工学を学んだ機械系出身者もいます。電気回路・制御理論・シーケンス制御の基礎が必要で、装置固有の知識は入社後に身につけるのが一般的です。
装置メーカー以外で働けますか？
RF電源・マスフローコントローラ・温度制御機器などのコンポーネントメーカーでも同じ職種があります。デバイスメーカーの装置エンジニアとして保全側から装置の電気系を扱う道もあります。
ソフトウェアエンジニアとの境界は？
PLCのラダーや組込み制御は電気・制御設計、装置全体のシーケンスやGUI、ホスト通信のソフトはソフトウェアエンジニアの担当になることが多いですが、会社によって境界はさまざまです。