装置のテクニカルサポートエンジニア
装置のテクニカルサポートは、半導体製造装置メーカーの本社やサポートセンターに所属し、顧客工場で起きた装置トラブルを、現場のフィールドサービスエンジニア（FSE）と組んで解決に導く職種です。FSEが現場で手を動かすのに対し、テクニカルサポートは装置ログや稼働データを解析して原因を絞り込み、手順書や対策情報として全拠点に展開する「後方の技術者」です。
仕事内容
エスカレーション対応
現場のFSEだけでは解決できない故障の連絡を受け、装置のアラーム履歴・センサーログ・過去の類似事例から原因を絞り込み、交換部品や調整手順を指示します。装置が止まっている間は顧客の生産も止まるため、時間との勝負になります。
リモート診断と稼働データの解析
顧客の許可を得た範囲で装置の稼働データを確認し、故障の予兆や部品の劣化傾向を読み取ります。SECS/GEM で集めたデータや装置管理ソフトの記録が主な手がかりです。
技術情報とトラブルシュート手順の整備
解決した事例を手順書やナレッジベースにまとめ、世界中のFSEが同じ問題を早く解けるようにします。ソフトウェア更新や改造（レトロフィット）の案内もここから出ます。
設計・品質部門へのフィードバック
同じ部品の故障が複数の顧客で続くなど、設計に起因する問題を見つけたら、データを添えて開発・品質部門に改善を求めます。次機種の信頼性はこのフィードバックで上がります。
担当する工程・装置
必要になる知識・用語
主な企業
関連する技術比較
よくある質問
フィールドサービスエンジニア（FSE）との違いは？
FSEは顧客工場に常駐・訪問して装置に直接触れる職種で、テクニカルサポートは本社側でデータと過去事例から原因を絞り込む職種です。FSEとして経験を積んだ人がテクニカルサポートに移るのはよくある経路です。
夜間や休日の対応はありますか？
顧客の工場は24時間動いているため、当番制で夜間・休日の連絡を受ける体制を取る会社が多くあります。海外拠点と時差でリレーする「フォロー・ザ・サン」体制の会社もあります。
どんな知識が必要ですか？
担当装置の構造とプロセスの基礎に加え、真空・プラズマ・ガス供給・制御ソフトの知識が役立ちます。ログを効率よく読むためのスクリプトやデータ解析のスキルも評価されるようになっています。