逆止弁（チェックバルブ）とは、流体を一方向だけに流し、逆流を自動的に止める弁です。半導体工場では、混ざると危険なガスどうしの逆流や、パージ用の窒素の配管の汚染、ポンプ停止時の逆流を防ぐのに使われます。完全な遮断は保証しないため、確実に止める場所では遮断弁と組み合わせます。
目次7項目
- 定義・解説
- 図解
- よくある質問
- 設備の製造メーカー
- 関連用語
- 比較・違いを学ぶ
- 出典・参考資料
定義・解説
逆止弁（チェックバルブ）とは、流体を一方向にだけ流し、反対向きの流れ（逆流）を自動的に止める弁です。外から操作しなくても、流れの圧力で弁が開き、逆向きの圧力がかかるとばねや自重で弁が閉じます。
半導体の工場では、主にガスや薬液の配管で、ある系統の流体が別の系統に逆流して混ざるのを防ぐために使われます。たとえば、可燃性のシランと酸化性のガスのように、混ざると危険な反応を起こすガスの配管、パージ用の窒素の配管がプロセスガスで汚されるのを防ぐ場所、ポンプが止まったときに排気側から逆流するのを防ぐ場所などです。超純水や薬液の配管でも、逆流による汚染を防ぐために使われます。
逆止弁には、弁が開き始める圧力（クラッキング圧力）があり、それより低い圧力では流れません。また、逆止弁は完全な遮断を保証するものではなく、閉じていてもごくわずかに漏れることがあるため、確実に止める必要がある場所では、空気で開閉するダイヤフラム弁などの遮断弁と組み合わせて使います。半導体用には、可動部分から出るパーティクルが少なく、内面を電解研磨した清浄な構造のものが使われます。
図解
開き始める圧力差（クラッキング圧力）を、配管の条件に合わせて選ぶ。よくある質問（FAQ）
逆止弁だけでガスを確実に止められますか？
止められません。逆止弁は逆流を防ぐための弁で、閉じていてもごくわずかに漏れることがあり、異物がはさまると閉じきらないこともあります。危険なガスを確実に止める場所では、空気で開閉するダイヤフラム弁などの遮断弁と組み合わせて使います。
クラッキング圧力とは何ですか？
逆止弁が開き始めるのに必要な、入口と出口の圧力の差のことです。これより低い圧力差では弁が開かず、流体は流れません。低い圧力で流す配管では、クラッキング圧力の小さい逆止弁を選ぶ必要があります。
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