緊急ガス遮断装置とは、ガスの漏れや地震、火災などを検知したときに、ガスの供給を自動的に止める安全装置です。半導体工場ではシランやアルシンなど危険なガスを使うため欠かせません。ガス検知器や地震計などと連動してガスキャビネットの遮断弁を閉じ、弁は電気や空気が失われると必ず閉じるフェイルセーフ設計です。
目次6項目
- 定義・解説
- 図解
- よくある質問
- 設備の製造メーカー
- 関連用語
- 比較・違いを学ぶ
定義・解説
緊急ガス遮断装置とは、ガスの漏れや地震、火災などの異常を検知したときに、ガスの供給を自動的に止める安全装置です。半導体の工場では、シラン（自然発火性）、アルシンやホスフィン（猛毒）、塩素やフッ素系のガス（腐食性・毒性）など危険なガスを大量に使うため、欠かせない設備になっています。
遮断のきっかけ（インターロック）には、ガス検知器による漏れの検知、地震計による一定以上の揺れの検知、火災報知器、排気の停止、配管の中の流量が急に増えたことの検知（過流量）、非常停止ボタンなどがあります。異常が検知されると、ガスボンベを収めたガスキャビネットや、配管の分岐盤（VMB）にある遮断弁が自動で閉じます。
遮断弁には、空気の圧力で開いておき、空気や電気が失われると自動的に閉じる「ノーマルクローズ」の弁が使われます。停電や故障のときにも、必ず安全側（閉）に動く（フェイルセーフ）ようにするためです。地震の多い日本では、揺れを検知して遮断する機能が特に重視され、高圧ガス保安法などの法令や、SEMI S2などの装置の安全基準に沿って設計されます。
図解
地震の多い日本では、揺れによる遮断が特に重視される。よくある質問（FAQ）
どのような異常でガスが遮断されますか？
ガス検知器によるガス漏れの検知、地震計による一定以上の揺れ、火災報知器の作動、排気の停止、配管の流量の急な増加（配管の破損の疑い）、非常停止ボタンの操作などです。これらの信号を受けて、ガスキャビネットや配管の分岐盤の遮断弁が自動で閉じます。
ノーマルクローズの弁が使われるのはなぜですか？
空気の圧力や電気をかけている間だけ開き、それが失われると自動で閉じる弁なので、停電や故障、配管の破損などで制御ができなくなっても、ガスが止まる安全な状態になるからです。このように故障したときに安全側に動く設計をフェイルセーフと呼びます。
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