熱分析装置(TG-DTA/DSC)メーカー3

熱分析装置は、試料の温度を制御しながら重量変化・熱流・寸法変化を測定し、材料の熱的性質を評価する装置群です。TG-DTA(熱重量・示差熱分析)は分解温度や吸湿量を、DSC(示差走査熱量測定)はガラス転移温度や硬化反応の発熱量を、TMA(熱機械分析)は線膨張係数を求めます。封止樹脂・ダイアタッチ材・基板材料の選定では、実装時のリフロー温度に対する耐熱性と、パッケージ内部の熱応力を左右する線膨張係数の把握が欠かせません。

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主要特徴

TG-DTAで分解温度・吸湿量、DSCでガラス転移温度・反応熱を測定
TMAで線膨張係数を求めパッケージの熱応力を評価する
封止樹脂・ダイアタッチ材・基板材料の選定根拠になる
リフロー耐熱性と熱応力の両面から材料の適合性を判断する

メーカー

3社の主要メーカー

日立ハイテク日本

世界をリードする計測・検査技術のパイオニア。電子顕微鏡技術を核とした「見る・測る・分析する」の総合力で、2nm/3nm世代の先端半導体製造をサポート。

検査・計測装置
CD-SEMウェハ検査装置マスク検査装置膜厚計測装置
加工装置
プラズマエッチング装置
分析装置
走査電子顕微鏡(SEM)透過電子顕微鏡(TEM)
  • CD-SEM(測長SEM)で世界シェア約80%を占める圧倒的なポジション
  • 2nm/3nm世代の先端プロセスに不可欠な計測技術を提供
会社詳細
島津製作所日本

分析・計測機器の国内大手メーカー。質量分析装置・表面分析装置・X線分析装置を中心に、半導体材料評価から医療機器まで幅広い分析技術を展開する。

分析装置
質量分析装置表面分析装置X線分析装置
  • 分析・計測機器で国内トップクラス
  • 質量分析・表面分析技術に強み
会社詳細
リガク(Rigaku)日本

X線回折・X線分析装置の専業メーカー。半導体薄膜の結晶性評価や材料研究向けのX線分析技術で、グローバルに事業展開する。

分析装置
X線回折装置X線分析装置
  • X線分析装置の専業メーカー
  • 薄膜・結晶構造評価に強み
会社詳細

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バーンインシステム

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有機物分析装置は、レジスト残渣・洗浄液由来の有機汚染・封止樹脂の劣化生成物など、有機化合物を同定し定量する装置群です。

メーカー 5
表面分析装置(XPS/SIMS)

表面分析装置は、材料の最表面から数nm〜数μmの深さにある元素組成と化学結合状態を定量する装置群です。

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メーカー 2

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