Producer XP Precision Pioneer 是應用材料以 CVD 製作的硬遮罩（蝕刻時的保護膜）。採用獨家的高密度碳膜，特點是能耐受先進節點的蝕刻化學。
在以光阻製作圖形之前沉積於晶圓上，以高保真度將圖形轉移到晶圓。由於蝕刻選擇比高，只需堆疊較薄的膜，側壁形狀也一致。藉此抑制隨微縮而擴大的製程變異。
與該公司用於改變圖形形狀的 Sculpta，以及蝕刻設備 Sym3 Y Magnum 共同最佳化，在邏輯與 DRAM 的關鍵蝕刻步驟中，可獲得比傳統碳膜更高的選擇比與控制性。
Producer XP Precision Pioneer CVD的特點與規格
應用材料（Applied Materials）・CVD 設備
高密度碳的 CVD 硬遮罩。蝕刻耐受性高，即使是薄膜也能忠實轉移圖形。
產品概要
主要規格
| 方式 | CVD（高密度碳硬遮罩） |
|---|---|
| 特點 | 耐受先進蝕刻化學、側壁均勻性高 |
| 搭配 | 與 Sculpta・Sym3 Y Magnum 共同最佳化 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
高密度碳硬遮罩
高蝕刻選擇比
與 Sculpta・Sym3 共同最佳化
主要用途
- 邏輯・DRAM 的圖案化
- EUV 圖形的轉移
製造商與在台據點
在台據點
- 新竹據點（新竹科學園區）：1996 年進駐，技術研發中心
- 台南據點（台南）：製造中心與顯示器設備製造研發中心
- 林口・台中據點（林口・台中）：營運據點
所屬設備分類
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