Episode 1 是東京威力科創(TEL)適用 300mm 晶圓的單晶圓薄膜沉積設備。它是搭載了 Triase+ 所累積的量產穩定性與最先進研發成果的 Episode 系列之一,可搭載最多 8 個製程模組。
為因應隨微縮而日益複雜的製程,可連續處理多道製程。備有去除矽原生氧化層的模組 OPTCURE 與沉積鈦的模組 ORTAS,實現先進邏輯金屬導線接觸電阻的降低。
搭載強化的設備資料收集與邊緣資訊處理系統,以分析應用程式改善稼動率與工程師的作業效率。並將稼動狀況與能源使用資訊建立資料庫,也運用於降低環境負荷。