装置・材料メーカー
ウェハ搬送ロボットエンジニア
最終更新：2026-09-28
この職種は何をするのか
ウェハ搬送ロボットエンジニアは、製造装置の前面でFOUPからウェハを取り出し、処理チャンバーへ運び、戻すまでの搬送系を設計する職種です。大気中で動くEFEMのロボットと、真空中で複数のチャンバーをつなぐ真空搬送ロボットの2種類があります。1台の装置で1時間に数百枚を運ぶため、速さ・位置決め精度・パーティクルを出さないことを同時に満たす必要があります。
仕事内容
ロボットの機構設計
アームのリンク構成、減速機、ハンド（エンドエフェクタ）を設計します。ウェハを落とさず、こすらず、短時間で運ぶための形状と材料を選びます。
動作制御と位置決め
サーボモーターの制御と軌道計画で、振動を抑えながら高速に動かします。ウェハの中心ずれを検出して補正する機能も搬送系の重要な仕事です。
パーティクルと静電気の対策
摺動部やケーブルから出る粒子、ウェハの帯電を抑える設計をします。搬送系が発塵源になると、装置全体の欠陥が増えてしまいます。
ロードポート・アライナとの統合
FOUPの蓋を開けるロードポート、ウェハのノッチを合わせるアライナ、マッピングセンサーと組み合わせて、装置の前面ユニット全体として設計します。
担当する工程・装置
必要になる知識・用語
主な企業
関連する技術比較
よくある質問
産業用ロボットの経験は活かせますか？
活かせます。機構設計・サーボ制御・軌道計画の基本は共通です。ただしクリーン度と真空対応、ウェハを傷つけないための繊細な動作は半導体搬送ならではの要求です。
日本企業の存在感はありますか？
大きい分野です。ローツェ、安川電機、ダイヘン、平田機工、シンフォニアテクノロジーなど、搬送ロボットやロードポートで世界的なシェアを持つ日本企業が多くあります。
AMHSエンジニアとの違いは？
AMHSはファブの天井や床を使って装置と装置の間でFOUPを運ぶ仕組み、搬送ロボットは装置の中でウェハを1枚ずつ運ぶ仕組みです。運ぶ単位と場所が違います。