ファブ運営・インフラ

AMHS(自動搬送システム)エンジニア

最終更新:2026-09-28

この職種は何をするのか

AMHS(自動搬送システム)エンジニアは、ファブの中でウェハの入ったFOUPを装置から装置へ自動で運ぶ仕組みを設計・運用する職種です。300mmファブでは天井のレールを走るOHT(天井走行搬送車)が数百〜数千台動き、ストッカーと組み合わせて工程の間をつなぎます。搬送の渋滞や遅れはそのまま装置の待ち時間とサイクルタイムの悪化になるため、ファブの物流全体を見る仕事です。

仕事内容

搬送システムの設計

レールのレイアウト、車両の台数、ストッカーの位置と容量を、ファブの装置配置と生産量から設計します。将来の増設に対応できる拡張性も求められます。

搬送シミュレーション

装置の処理時間とロットの流れをシミュレーションして、渋滞や待ち時間を予測します。設計段階での検証が、稼働後の手戻りを減らします。

MES・装置との連携

MES(製造実行システム)からの指示で、どのFOUPをどの装置に運ぶかを決める搬送制御を設計します。装置のロードポートとの受け渡しの仕様も調整します。

稼働管理と保守

車両の故障やレールの停止を監視し、障害時の迂回やリカバリの手順を決めます。搬送系の停止は多数の装置を同時に止めるため、信頼性の管理が重要です。

担当する工程・装置

AMHS(自動搬送システム)半導体製造装置 / 工場内搬送・自動化ストッカー半導体製造装置 / 工場内搬送・自動化ウェハ搬送装置半導体製造装置 / 工場内搬送・自動化生産管理システム(MES)半導体製造装置 / 工場内搬送・自動化ウェハキャリア・FOUP・EFEM半導体製造装置 / 装置部品・サブシステム

必要になる知識・用語

AMHS(自動搬送システム)Automated Material Handling SystemOHT(天井走行式搬送車)OHT (Overhead Hoist Transport)ストッカー(ウェハ自動保管装置)Stocker / Automated StorageFOUP(フープ)Front Opening Unified PodロードポートLoad PortMES(製造実行システム)Manufacturing Execution SystemWIP(仕掛品)Work In Processキュータイム(Q-Time)Q-Time (Queue Time)

主な企業

ダイフクJP村田機械(Muratec)JPローツェ(RORZE)JPシンフォニアテクノロジーJPTSMC(台湾積体電路製造)TWキオクシア(Kioxia)JPMicron Technology(マイクロン)US

関連する技術比較

FOSBとFOUPの違い(ウェハ搬送容器の比較)

よくある質問

日本企業の存在感はありますか?

非常に大きい分野です。ダイフクと村田機械が半導体向けAMHSで世界シェアの大半を持っています。物流システムの技術が半導体工場に活かされています。

どんな出身の人が多いですか?

機械・電気・制御・情報の出身者が混在しています。車両やレールのハードウェア、搬送制御のソフトウェア、シミュレーションによるシステム設計と、担当によって必要な専門が異なります。

CIMエンジニアとの違いは?

CIMエンジニアはMESなどファブ全体の情報システムを担い、AMHSエンジニアはその指示を受けてモノを運ぶ仕組みを担います。両者の連携がファブの自動化の要です。

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