ミニマルファブメーカー8社

「切る・削る・磨く」技術の世界的リーダー。ダイシングソー、グラインダで市場トップシェアを持ち、超薄ウェーハ加工の完全ソリューションを提供。

• •ダイシングソー、グラインダで世界トップシェア
• •超薄ウェーハ加工の完全ソリューション

分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。

• •分析・計測機器で国内大手
• •半導体プロセス向けガス分析に強み

産業用計測・制御システムの国内大手メーカー。半導体ファブ向けにはプローバー関連装置やプロセス計測機器を含む幅広い計測・制御ソリューションを展開する。

• •産業計測・制御システムで国内大手
• •半導体ファブ向け計測機器を展開

空圧・流体制御機器の大手。半導体分野では超高純度ガス用バルブ、薬液用の耐薬品バルブ・ポンプ、ガスユニットを供給し、装置内の流体制御を支える。

• •空圧機器と流体制御機器の総合ラインナップ
• •半導体向け高純度・耐薬品バルブ

超高純度対応のバルブ・継手・レギュレータを手掛ける流体制御機器メーカー。半導体プロセスガス向けのダイヤフラムバルブや、MFCを組み込んだガスボックス（ガスパネル）をユニットで供給する。

• •超高純度（UHP）流体制御機器の設計技術
• •ダイヤフラムバルブ・継手で高いシェア

住友精密工業から分社した装置メーカー。シリコン深掘りエッチング装置（DRIE）とプラズマCVD装置を主力とし、MEMS・パワーデバイス・TSV形成など高アスペクト比加工の用途に強い。

• •シリコン深掘りエッチング（DRIE）の専業メーカー
• •MEMS・TSVなど高アスペクト比加工の実績

ジェイテクトグループの熱処理装置メーカー。半導体向けの縦型拡散炉・横型拡散炉、ランプアニール装置などを供給し、酸化膜形成や不純物拡散、活性化アニールの工程を支える。

• •縦型・横型の拡散炉を自社で設計製造
• •ランプ加熱による急速熱処理（RTP）に対応

ラッピングマシン・ポリッシングマシンを主力とする装置メーカー。シリコンウェハの両面研磨機や片面研磨機を供給し、ウェハの平坦度・厚みばらつきを決める工程を支える。

• •両面ラップ・両面ポリッシュ機の専業メーカー
• •大径ウェハの平坦度を作り込む加工ノウハウ