DFP8140とは
DFP8140 は、ディスコのフルオートマチック ポリッシャです。スラリーを使わないドライポリッシュ方式で、裏面研削後のウェーハに残る研削ダメージ層を除去します。
ダメージ層を取り除くことでウェーハの割れや反りが大きく減り、チップの抗折強度と歩留まりの向上につながります。ウェットエッチングや CMP のような薬液処理が要らないため、メーカーは環境負荷の小さいプロセスとしています。
対応ウェーハは Φ4／5／6／8インチ（いずれか1サイズを選択）で、Φ300mm のドライポリッシングホイールを使います。単体機として使えるほか、DISCO のグラインダとインライン接続したり、後付けで組み合わせたりできます。
主な特長
- •スラリー・薬液を使わないドライポリッシュ
- •研削ダメージ層の除去でウェーハの割れ・反りを低減
- •DISCO グラインダとのインライン接続・後付けに対応
- •スピンドル定格出力 4.8kW、回転数 1,000〜4,000 min⁻¹
主な仕様
| 対応ウェハ径 | 4／5／6／8 インチ |
|---|---|
| 研磨方式 | ドライポリッシュ（スラリー・薬液不使用） |
| 構成 | 単体機（DISCO グラインダとインライン接続可） |
| 主要用途 | 研削ダメージ除去による抗折強度向上・反り低減 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •Φ4〜8インチ ウェーハの薄化後のストレスリリーフ
- •中口径ラインでの抗折強度・歩留まり改善
掲載カテゴリ
DFP8140は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
よくある質問
DFP8140 は 300mm ウェーハに使えますか？
対応ウェーハは Φ4／5／6／8インチです。300mm ウェーハで研削とストレスリリーフを1台で行う場合は、グラインダ／ポリッシャの DGP8761 が対象になります。
メーカー
DISCO
「切る・削る・磨く」技術の世界的リーダー。ダイシングソー、グラインダで市場トップシェアを持ち、超薄ウェーハ加工の完全ソリューションを提供。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-05