DGP8761

Φ200／300mmウェーハ向けのフルオートマチックグラインダ／ポリッシャ。裏面研削からストレスリリーフまでを1台で行い、25µm未満までの薄化に対応する。

DGP8761とは

DGP8761 は、ディスコのフルオートマチックグラインダ／ポリッシャです。Φ200mm と Φ300mm のウェーハに対応し、裏面研削（バックグラインド）と、研削で生じたダメージ層を取り除くストレスリリーフ加工を1台で行います。

装置は3軸・4チャックテーブル構成です。Z1／Z2 軸でダイヤモンドホイールによるインフィード研削を行い、Z3 軸ではドライポリッシュ、CMP、Poligrind、UltraPoligrind から加工方式を選べます。メーカーは 25µm 未満までの安定した薄化研削を可能としています。

マルチウェーハマウンター DFM2800 と組み合わせると、DAF（ダイアタッチフィルム）の貼り付けまでをつなげた運用ができます。対応する加工は DBG（先ダイシング）、SDBG、ウェーハ薄化、ストレスリリーフの4つです。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

DGP8761は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。

バックグラインダー（Backgrinder）は、ウェハ裏面を研削して所定の厚さまで薄化（減薄）する装置です。

ポリッシャー（Polisher）は、研磨パッドと研磨スラリーを用いてウェハ裏面を精密研磨し、表面粗さの低減と平坦性向上を実現する装置です。

DGP8761 と DFP8140 の違いは？

DGP8761 は研削とポリッシュを1台にまとめたグラインダ／ポリッシャで Φ200／300mm に対応します。DFP8140 はドライポリッシュ専用の単体機で、Φ4〜8インチのウェーハを対象に、DISCO グラインダとインライン接続して使えます。

「切る・削る・磨く」技術の世界的リーダー。ダイシングソー、グラインダで市場トップシェアを持ち、超薄ウェーハ加工の完全ソリューションを提供。