DFG8360とは
DFG8360 は、ディスコの研削で優れた平坦性を出す高精度のグラインダです。300mm ウェーハに対応します。
ウェーハ製造の平坦化では一般にバッチ式のラッピングが使われますが、DFG8360 の平面研削を導入すると、ラッピングの負荷を最小にしながら枚葉加工で厚みを安定して調整できます。ファインメッシュホイールで研磨工程の負荷も減らし、加工時間を短くします。
高剛性で振動の少ないスピンドルで、熱や振動の影響を減らして連続加工でも安定します。加工点を制御して任意のウェーハ形状に調整できるため、後工程の要求に合わせた形状を指定できます。
主な特長
- •ラッピング負荷の低減
- •ファインメッシュホイール
- •ウェーハ形状の調整
主な仕様
| 方式 | 1 軸 2 チャックテーブル（インフィード研削） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | Φ300 mm |
| スピンドル | 定格 7.5kW・1,000〜4,500 min⁻¹ |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | DISCODGP8761 | DISCODAG810 | DISCODFG8340 | DISCODFG8360 | DISCODFG8540 | DISCODFG8560 | DISCODFG8830 | DISCODGP8762 | 東京エレクトロン（TEL）Ulucus™ G |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 対応ウェハ径 | 200／300 mm | Φ8 インチ（オプションで Φ300 mm） | Φ4〜8 インチ | Φ300 mm | Φ8 インチ（Φ4〜8 インチ） | Φ300 mm（Φ200 mm もユニバーサルチャックで可） | Φ4〜6 インチ（支持基板 Φ5〜8 インチ） | Φ300 mm | — |
| 方式 | — | 1 軸 1 チャックテーブル（インフィード研削） | 1 軸 2 チャックテーブル | 1 軸 2 チャックテーブル（インフィード研削） | 2 軸 3 チャックテーブル | 2 軸 3 チャックテーブル | 4 軸 5 チャックテーブル | 3 軸 4 チャックテーブル（粗研削・仕上げ研削・ドライポリッシュ） | 枚葉の研削＋スクラブ洗浄＋スピンウェットエッチング |
| 特徴 | — | — | 厚みをリアルタイム測定しながら純水のみで加工 | — | — | — | 高剛性・高出力スピンドル・大口径ホイール | — | 装置内の検査ユニットでフィードバック／フィードフォワード制御 |
| 装置質量 | — | — | — | — | 約 3,100 kg（DFG850 比 28% 軽量） | 約 4,000 kg（DFG860 比 20% 軽量） | — | — | — |
1機種だけが掲載している項目（7件）
| 研削方式 | インフィード研削（Z1／Z2）＋ストレスリリーフ（Z3） | — | — | — | — | — | — | — | — |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 構成 | 3軸・4チャックテーブル | — | — | — | — | — | — | — | — |
| 主要用途 | DBG／SDBG・ウェーハ薄化 | — | — | — | — | — | — | — | — |
| 装置寸法 | — | 600 × 1,700 × 1,780 mm | — | — | — | — | — | — | — |
| スピンドル | — | — | — | 定格 7.5kW・1,000〜4,500 min⁻¹ | — | — | — | — | — |
| 3 軸目の選択 | — | — | — | — | — | — | — | ドライポリッシュ（標準）・CMP・研削 | — |
| ベース | — | — | — | — | — | — | — | — | LITHIUS Pro Z プラットフォーム |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •300mm ウェーハ製造の平坦化
掲載カテゴリ
DFG8360は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
DISCO
「切る・削る・磨く」技術の世界的リーダー。ダイシングソー、グラインダで市場トップシェアを持ち、超薄ウェーハ加工の完全ソリューションを提供。
バックグラインダーのほかの製品
DISCOのほかの製品
DFD6362（ダイシングソー）DGP8761（バックグラインダー）DFP8140（研磨装置（ポリッシャー））DFL7362（ステルスダイシング）（レーザーダイシング装置）DFM2800（ウェハマウンタ）DAL7440（KABRA® レーザースライサー）（ワイヤソー・スライシング装置）ZH05（ハブブレード）（ダイシングブレード・マウンタ部品）NBC-Z シリーズ（ダイシングブレード・マウンタ部品）DFD6240（ダイシングソー）DFD6340（ダイシングソー）DFD6361（ダイシングソー）DFD6363（ダイシングソー）DFD6450（ダイシングソー）DFD6560（ダイシングソー）DFD6760（ダイシングソー）DAD3350（ダイシングソー）DAD3361（ダイシングソー）DAD3660（ダイシングソー）DFL7160（レーザーダイシング装置）DFL7262（レーザーダイシング装置）DFL7341（レーザーダイシング装置）DFL7362FH（レーザーダイシング装置）DFL7560L（レーザーダイシング装置）DFL7562（レーザーダイシング装置）DAW4110（ウォータジェットソー）（ダイシングソー）DAG810（バックグラインダー）DFG8340（バックグラインダー）DFG8540（バックグラインダー）DFG8560（バックグラインダー）DFG8830（バックグラインダー）DFP8160（研磨装置（ポリッシャー））DGP8762（バックグラインダー）DME8061（ドライエッチャ）（研磨装置（ポリッシャー））DAS8930（サーフェースプレーナ）（ウェハレベルパッケージング）DFS8960（サーフェースプレーナ）（ウェハレベルパッケージング）DMM9200（ウェハマウンタ）DIS100（インスペクションシステム）（最終テスト装置）DDS2300（ダイセパレータ）（レーザーダイシング装置）DDS2030（ダイセパレータ）（レーザーダイシング装置）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07