装置・材料メーカー
装置部品・消耗品エンジニア
最終更新：2026-09-28
この職種は何をするのか
装置部品・消耗品エンジニアは、エッチング・成膜装置のチャンバー内で使われるフォーカスリング、チャンバーライナー、シャワーヘッド、静電チャックといった部品を開発・製造する職種です。これらの部品はプラズマや腐食性のガスにさらされて少しずつ削れ、定期的に交換されます。部品の材料と表面処理が、パーティクルの発生量・交換周期・プロセスの安定性を左右するため、プロセスの成り立ちを理解したものづくりが求められます。
仕事内容
材料と表面処理の開発
石英、アルミナ、イットリア、SiCなどから用途に合う材料を選び、プラズマ耐性を上げる溶射やコーティングを開発します。
寿命とパーティクルの評価
実機やテストチャンバーで部品を使い、消耗速度とパーティクルの発生量を評価します。交換周期を延ばせれば、顧客の装置稼働率とコストに直接効きます。
精密加工と品質管理
数千個の微細なガス穴を持つシャワーヘッドのように、高精度の加工と洗浄が必要な部品を量産します。金属汚染を出さない洗浄と梱包も品質の一部です。
再生・洗浄サービス
使用済み部品を洗浄・再加工して再利用するサービスも大きな事業です。再生品の品質を新品と同等に保つ工程を作ります。
担当する工程・装置
必要になる知識・用語
石英部品（石英ガラス部材）Quartz Parts / Fused Silica Componentsフォーカスリング（エッジリング）Focus Ring / Edge Ringチャンバーライナー（デポシールド）Chamber Liner / Deposition ShieldシャワーヘッドShower Head / Gas Distribution Plate静電チャック（ESC）Electrostatic Chuck (ESC)イットリア溶射コーティング（耐プラズマ被膜）Yttria Coating / Plasma-Resistant Coatingセラミックヒーター（AlNヒーター）Ceramic Heater / AlN Heaterパーティクル汚染（発塵管理）Particle Contamination
主な企業
関連する技術比較
よくある質問
消耗品の仕事は装置本体より地味ですか？
目立ちにくいですが、装置の稼働中ずっと売れ続ける事業で、装置メーカーの収益の大きな柱です。部品の性能がプロセスの安定性を左右するため、技術的な難度も高い分野です。
材料系の出身が向いていますか？
セラミックス・無機材料・表面工学の出身者が多く就いています。機械加工やコーティングの技術者、プラズマとの相互作用を評価する物理系の技術者も一緒に働きます。
どんな会社で働けますか？
フェローテック、信越石英、東ソー、日本ガイシ、京セラ、トーカロなど部品・材料メーカーのほか、装置メーカーの部品事業部門にも同じ職種があります。