表面処理・溶射コーティングメーカー7社
表面処理・溶射コーティングは、チャンバ内壁や治具の表面に耐プラズマ性の膜を作り、部品寿命とパーティクル特性を改善する加工サービスです。プラズマに曝される部材はイオン衝撃で徐々に削られ、その削れ粉がパーティクルになるため、イットリア（Y₂O₃）やイットリウムフッ化物を溶射・エアロゾルデポジションで被覆して耐食性を高めます。膜の緻密さと密着力が寿命を決め、再生（リコート）を繰り返して部品を使い続けることでランニングコストを下げる、装置運用の要になる技術です。
主要特徴
メーカー
7社の主要メーカー
溶射加工の国内最大手。半導体製造装置のチャンバー内部品にイットリア（Y₂O₃）などの耐プラズマ皮膜を施し、パーティクル発生を抑えて部品寿命を延ばすコーティング・再生サービスを展開する。
- •溶射加工で国内最大手のシェア
- •イットリア系耐プラズマコーティング技術
真空技術を核に、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング・測定装置を手がける日本の総合真空機器メーカー。半導体に加えFPD・太陽電池にも展開。
- •真空ポンプからプロセス装置まで一貫した垂直統合
- •スパッタリング装置で国内トップクラス
半導体・電子機器・真空機器を扱う技術系の専門商社。海外メーカーの計装ウェハや真空部品を国内に導入し、装置メーカーとファブの双方に供給する。
- •半導体・真空・表面処理にまたがる技術商社
- •海外装置部品メーカーの国内代理店機能
化学技術を軸に、半導体・パネル製造装置部材の精密洗浄とシリコンウェーハの再生を手掛ける。産業廃棄物の無害化や再資源化も事業とする。
- •装置部材の精密洗浄で国内有数
- •シリコンウェーハの再生（リクレーム）
アルバックグループのサービス会社。真空装置と真空ポンプ、計測器のメンテナンスに加え、真空部品の再生洗浄や金属表面処理を手掛ける。
- •真空装置・ポンプの保守で国内有数
- •部品の再生洗浄と表面処理を自社で
ステンレス製品の販売と加工を手掛ける。半導体向けにはEPパイプ・BAパイプなど内面処理を施した高純度配管材と継手を供給する。
- •EP・BAパイプなど高純度配管材の品揃え
- •切削・レーザ切断・溶接まで自社加工
光学単結晶から金属・樹脂まで、材料を問わない超精密研磨を手掛ける。ラッピングからポリッシングまでの鏡面加工を受託する。
- •材料を問わない鏡面加工の実績
- •単結晶の超精密研磨に対応
関連カテゴリ
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