装置・材料メーカー
プラズマ技術エンジニア
最終更新：2026-09-28
この職種は何をするのか
プラズマ技術エンジニアは、ドライエッチング・プラズマCVD・アッシングなどに使うプラズマを、装置の側から設計する職種です。ICPやCCPといったプラズマの生成方式、RF電源の周波数とパワー、チャンバーの形状、ガスの流れを組み合わせて、ウェハ全面で均一なイオンとラジカルを作ります。デバイスメーカーのエッチングエンジニアが「条件」で形状を作るのに対し、プラズマ技術エンジニアは「装置そのもの」で性能を作ります。
仕事内容
プラズマ源とチャンバーの設計
アンテナや電極の形状、RF周波数、磁場の有無を決め、狙いのプラズマ密度とイオンエネルギーを得られる構造を作ります。
プラズマ計測とシミュレーション
発光分光やラングミュアプローブでプラズマの状態を測り、流体・電磁界シミュレーションと突き合わせて設計の精度を上げます。
面内均一性の作り込み
ウェハの中心と端でエッチレートが違う問題を、ガスの導入方法、フォーカスリング、電極の温度分布などで解消します。300mm全面での均一性は装置の商品力そのものです。
新しい制御方式の開発
RFのパルス化、複数周波数の重畳、原子層エッチング向けの制御など、次の世代の加工に必要なプラズマの制御方式を開発します。
担当する工程・装置
必要になる知識・用語
プラズマ（半導体製造）PlasmaICP（誘導結合プラズマ）ICP (Inductively Coupled Plasma)CCP（容量結合プラズマ）CCP (Capacitively Coupled Plasma)ラジカル（フリーラジカル）Radical (Free Radical)RF電源（高周波電源）RF Generatorインピーダンス整合器（マッチングボックス）Impedance Matching Networkリモートプラズマ源（RPS）Remote Plasma Source (RPS)シャワーヘッドShower Head / Gas Distribution Plateフォーカスリング（エッジリング）Focus Ring / Edge RingプラズマエッチングPlasma Etching
主な企業
関連する技術比較
よくある質問
プラズマの研究経験は必要ですか？
あると有利ですが必須ではありません。プラズマ物理・電磁気学・気体放電の基礎があれば、装置開発の中で経験を積めます。大学でプラズマ・核融合・放電を研究した人が多く就く職種です。
エッチングエンジニアとの違いは？
エッチングエンジニアは既存の装置で条件を決め、ウェハの形状に責任を持ちます。プラズマ技術エンジニアは装置のハードウェアと設計に責任を持ち、どんな条件でも使える装置を作る側です。
日本でこの仕事はありますか？
東京エレクトロンや日立ハイテクなど、エッチング・成膜装置を開発する日本企業にあります。RF電源のダイヘンなどコンポーネントメーカーでもプラズマの知識を持つ技術者が求められています。