エアロゾル洗浄とは、アルゴンや窒素などのガスを極低温に冷やして急に膨張させ、微小な固体や液体の粒（エアロゾル）にしてウェハの表面に吹き付け、その衝突の勢いで表面のパーティクル（微粒子）をはじき飛ばす洗浄方法です。極低温のガスを使うことからクライオ洗浄とも呼ばれます。薬液や水を使わずに、ドライな状態で物理的にパーティクルを取り除くのが特長です。
パーティクルは小さくなるほど、表面に付着する力（ファンデルワールス力など）に比べて、液体の流れで受ける力が小さくなり、取りにくくなります。エアロゾル洗浄では、凍った粒が直接パーティクルにぶつかって運動量を渡すため、小さなパーティクルにも力を伝えやすくなります。吹き付けた粒はすぐに気体に戻ってなくなるため、ウェハの上に洗浄の残りが残りません。
薬液でエッチングしないため、表面の膜を削らずに済み、水を使わないため乾燥の工程やウォーターマークの心配もありません。そのため、配線やゲートの膜が露出した工程、水分を嫌う材料、マスクやレチクルの洗浄などに使われます。一方、ぶつかる勢いが強すぎると細いパターンを傷つけるため、粒の大きさと速さの制御が重要です。メガソニック洗浄や二流体洗浄と同じく、物理的な力でパーティクルを取る方法の1つです。
