残留ガス分析計（RGA：Residual Gas Analyzer）とは、真空のチャンバーの中に残っている気体を、種類ごとにどれだけあるか（分圧）を測る小型の質量分析計です。四重極質量分析計（QMS）を使うものがほとんどで、真空計が「全体の圧力」しか分からないのに対し、「何の気体がどれだけあるか」が分かります。
仕組みは、まず気体の分子に電子を当ててイオンにし、次に4本の棒状の電極（四重極）に直流と高周波の電圧をかけて、特定の質量と電荷の比（m/z）のイオンだけを通し、最後に通ったイオンの量を検出器で測るというものです。電圧を掃引すると、m/zごとの強さの並び（質量スペクトル）が得られます。動作には、イオンが他の分子にぶつからない程度の高真空（およそ10⁻²Pa以下）が必要で、それより圧力の高いプロセス中の測定には、差動排気で圧力を下げた部分に取り付けます。
半導体の装置では、主に3つの用途があります。1つ目はリークの発見で、窒素（28）と酸素（32）がおよそ4対1で見えれば大気の漏れ込みを疑い、ヘリウムを吹き付けて漏れの場所を探します。2つ目は汚染の確認で、水（18）や炭化水素（43・57など）の量から、チャンバーの乾燥の状態や油の汚染を判断します。3つ目はプロセスの監視で、反応で出る生成物のガスを測って、終点の検出や異常の発見に使います。
