屏蔽室・防振建築是什麼
屏蔽室・防振建築是保護精密設備免受電磁雜訊與振動等外部干擾的結構設施。電子顯微鏡、電子束（EB）微影設備、曝光機會因周圍電力線或搬送設備產生的微弱磁場而使電子束偏折，也會因地板振動而使影像晃動。以高導磁合金（permalloy）或電磁鋼板構成磁屏蔽室以衰減外部磁場，建築方面則以獨立基礎或防振溝切斷振動的傳遞路徑。設備的性能規格是以一定的環境條件為前提，打造滿足這些條件的場所也是設備導入的一部分。
重點整理
保護精密設備免受電磁雜訊與振動影響的結構設施
即使是微弱磁場，電子束也會偏折、影像也會晃動
以高導磁合金等磁屏蔽衰減外部磁場
以獨立基礎・防振溝切斷地板振動的傳遞路徑
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