VECTOR 是科林研發的 PECVD（電漿 CVD）產品系列。負責沉積最新電晶體與 3D 結構所使用、屬於最難製作的一類介電層。依用途不同，有時需要能緊密貼合複雜結構的薄膜，有時則需要極為平滑且無缺陷的薄膜，以免缺陷在後續層中被放大。
特點是優異的膜質與片內・片間均勻性、業界頂尖的生產力與低擁有成本。以獨立於薄膜沉積之外為晶圓升溫的獨家技術，在提升膜質的同時縮短處理時間。採用四站式模組（QSM）架構，也具備可因應廣泛用途的製程彈性。
產品包括 VECTOR、VECTOR TEOS、VECTOR AHM、VECTOR MD、VECTOR Strata、VECTOR DT、VECTOR TEOS 3D。部分機種也以翻新品 Reliant Systems 形式提供。