最後更新:2026年10月23日PVD 設備

EXIM的特點與規格

東京威力科創(TEL)・PVD 設備

以高生產力沉積 STT-MRAM 等超多層膜的東京威力科創 PVD 設備。可自由配置製程模組。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

EXIM 是東京威力科創(TEL)的 PVD 設備。為了在垂直磁化型 MTJ 元件等超多層膜記憶體堆疊中也能取得高生產力,具備前所未有的彈性與擴充性。

採用與傳統 PVD 設備完全不同的概念,可依需要自由配置製程模組,從開發到量產廣泛對應。以新的沉積手法提高稼動率,實現微粒減少以及良好的面內均勻性與再現性。採多陰極濺鍍源,介面與組成的控制性優異。

在被視為新世代記憶體關鍵的 STT-MRAM 製造中,於核心的 20 層以上超多層膜製程兼顧高生產力與製程性能。曾獲半導體年度大獎(Semiconductor of the Year)2015。

主要規格

方式多陰極 PVD
對象垂直磁化型 MTJ(20 層以上的超多層膜)
獲獎半導體年度大獎(Semiconductor of the Year)2015

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

可自由配置製程模組
多陰極濺鍍
支援 20 層以上的超多層膜

主要用途

  • STT-MRAM 的 MTJ 堆疊

製造商與在台據點

在台據點
  • 台灣東京威力科創(新竹):台灣子公司(1996 年成立)。設有訓練中心,並規劃擴建無塵室
  • 台南營運中心(台南):動工時預計 2024 年下半年完工,樓地板面積約 3.5 萬平方公尺,可容納近千名員工,負責零組件處理、技術服務與維修

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資料來源

  1. 東京威力科創(TEL)官方產品頁面:TEL EXIM LEXIA-EX