キャピラリ(ボンディングキャピラリ)とは

Bonding Capillary

最終更新:2026-09-28・ボンディングツール(キャピラリ)・ワイヤボンダー|用語集のExcel・PDF版をダウンロード

キャピラリ(ボンディングキャピラリ)とは?

キャピラリとは、ワイヤボンディングのボールボンディングで使う、中心にワイヤを通す穴が開いた先細りのセラミックス製工具です。ワイヤボンダーの超音波ホーンに取り付け、ボールをパッドに押し付けて接合し、リード側ではワイヤを押しつぶしてステッチボンドを作ります。先端形状が接合形状を決め、消耗品として定期交換されます。

定義・解説

キャピラリとは、ワイヤボンディングのボールボンディングで、ワイヤを通してチップやリードに押し付け、接合を行う細い筒状の工具です。英語で「毛細管」を意味します。中心にワイヤを通す細い穴が開いた先細りの形をしたセラミックス製の部品で、ワイヤボンダーのボンディングヘッドの先端にある超音波ホーン(トランスデューサ)に取り付けて使います。

ボンディングでは、キャピラリの先から出たワイヤの先端に放電でボールを作り、キャピラリでボールをチップのパッドに押し付けながら、荷重と超音波振動を加えて接合します(ファーストボンド)。続いてワイヤを繰り出しながらループを描いてリード側へ移動し、キャピラリの先端の面でワイヤを押しつぶして接合し、そのまま引きちぎって切断します(セカンドボンド、ステッチボンド)。穴の直径、先端の外径、内側の面取り(チャンファー)の角度と直径、先端面の角度といった寸法が、ボールのつぶれた形やステッチの形を決めます。パッドの間隔が40μm以下のファインピッチ品では、隣のワイヤに当たらないよう先端を細くしたボトルネック形状のキャピラリが使われます。

材料には、硬く摩耗しにくいアルミナやジルコニアを加えたアルミナ、ルビーなどが使われます。キャピラリは消耗品で、使ううちに先端が摩耗したり、ワイヤの金属が付着したりして、ボールの大きさのばらつきや接合不良(ノンスティック)の原因になるため、一般に数十万〜百万回以上の接合ごとに交換します。金線より硬い銅線では摩耗が早くなるため、銅線用に表面を加工したキャピラリが使われます。主なメーカーには、Kulicke & Soffa(K&S)やTOTOなどがあります。

よくある質問(FAQ)

キャピラリはどのくらいで交換しますか?▾
先端の摩耗や金属の付着で接合品質が落ちるため、一般に数十万〜百万回以上の接合ごとに交換します。交換の周期はワイヤの材料や接合条件で変わり、硬い銅線を使う場合は金線より早く摩耗します。ボール径や接合強度の監視結果も交換の判断に使われます。
キャピラリとウェッジツールの違いは何ですか?▾
キャピラリは中心の穴にワイヤを通し、ボールを作って接合するボールボンディング用の工具です。ウェッジツールは先端の溝でワイヤを斜めに押さえて超音波で接合するウェッジボンディング用の工具で、ボールを作らず、主にアルミ線の接合に使われます。

設備の製造メーカー

Kulicke & Soffa米国

半導体パッケージング装置の世界的リーダー。ワイヤーボンディング、ダイボンディング、先端パッケージング装置で圧倒…

TOTO日本

衛生陶器で知られる一方、ファインセラミック事業として半導体製造装置向けの静電チャック(ESC)を供給。多孔質セ…

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