シェア試験(ボールシェア・ダイシェア)とは

Shear Test (Ball Shear / Die Shear)

最終更新:2026-10-03・故障解析装置・ダイボンダー|用語集のExcel・PDF版をダウンロード

シェア試験(ボールシェア・ダイシェア)とは?

シェア試験とは、接合部を横から工具で押し剥がし、シェア強度と破壊モードで接合の強さを調べる試験です。ワイヤのボール接合部を押すボールシェア(JESD22-B116)、はんだボールのシェア(JESD22-B117)、チップを押すダイシェア(MIL-STD-883 Method 2019)があり、ワイヤプル試験では分からない接合面そのものの強さを評価します。

定義・解説

シェア試験とは、接合部に横方向(水平方向)から工具を押し当てて剥がし、剥がれるときの力(シェア強度)と壊れ方から接合の強さを調べる試験です。「シェア」は英語で「せん断」を意味します。対象によって、ワイヤボンディングのボール接合部を押すボールシェア試験、チップ全体を押すダイシェア試験、はんだボールやバンプを押すボールシェア・バンプシェア試験などがあります。

ボールシェア試験では、パッドの表面からわずかに浮かせた高さでシェアツールを水平に動かし、ボールを押し剥がします。ワイヤプル試験ではボールの付け根のワイヤが先に切れてしまうため、ボールとパッドの接合面そのものの強さはシェア試験でないと分かりません。剥がした後のパッドを顕微鏡で観察し、金とアルミの金属間化合物がどれだけ広く形成されているか(接合面積)も確認します。ワイヤボンディングのボールシェア試験はJEDEC JESD22-B116で、はんだボールのシェア試験はJESD22-B117で規定されています。

ダイシェア試験は、基板やリードフレームにダイボンディングしたチップを横から押し、接着剤やはんだの接合の強さを調べる試験で、MIL-STD-883のMethod 2019などに規定されています。試験の結果は、力の値に加えて、接着剤の中で壊れたか、界面で剥がれたか、チップ自体が割れたかといった破壊モードで判断します。ツールの高さや押す速度で結果が変わるため、条件をそろえて比較することが重要で、ボンドテスターと呼ばれる専用装置で行います。温度サイクル試験や高温放置などの信頼性試験の前後でシェア強度を比べ、接合部の劣化を評価することもあります。

よくある質問(FAQ)

ボールシェア試験は何のために行いますか?▾
ワイヤボンディングのボールとパッドの接合面そのものの強さを調べるためです。ワイヤを引っ張るプル試験ではボールの付け根のワイヤが先に切れやすく、接合面の強さが分かりません。押し剥がした後のパッドを観察して、金属間化合物の形成状態も確認します。
ダイシェア試験とは何ですか?▾
基板やリードフレームに接着・はんだ付けしたチップを横から押して剥がし、ダイボンディングの接合強度を調べる試験です。力の値と、接着剤の中で壊れたか界面で剥がれたかといった破壊モードから、接合の品質や信頼性試験後の劣化を判断します。

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Kulicke & Soffa米国

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