グレージングとは、研磨や研削を続けるうちに、研磨パッドや砥石の表面がつるつるに滑らかになり（ガラスのように光ることから glaze と呼ばれます）、削る力が落ちてしまう現象です。CMPでは研磨速度の低下、砥石では切れ味の低下として現れます。
CMPの研磨パッドの表面には、本来は細かい凹凸と無数の小さな穴（ポア）があり、凸部がウェハに当たって削り、穴が研磨液をため込んで運びます。研磨を続けると、凸部が押しつぶされて平らになり、穴に研磨くずや固まった研磨液が詰まります。こうなるとパッドとウェハの間に研磨液が行き渡らず、研磨速度が下がり、ウェハの中での研磨のむら（均一性の悪化）やスクラッチも増えます。
対策は、ダイヤモンドの粒を付けた円盤（パッドコンディショナ）でパッドの表面を削り、凹凸と穴を作り直すパッドコンディショニングです。研磨と同時に行う方式と、研磨の合間に行う方式があります。研削の砥石でも同じように、砥粒の先が丸くなる目つぶれや、くずが詰まる目詰まりが起こるため、ドレッシングで表面を削って新しい砥粒を出します。
