最終更新 2026-10-19

LDMOSとは(横型拡散MOS)

Laterally Diffused MOSFET (LDMOS)

LDMOS(横型拡散MOS)とは、電流がウェハの表面に沿って横方向に流れるパワーMOSFETで、ドレイン側の長いドリフト領域で高い電圧を受け止めます。電極がすべて表面にあるため、CMOSと同じチップに作りやすく、電源ICや車載ICのBCDプロセスで広く使われます。基地局の高周波の増幅器でも長く使われてきました。

目次7項目
  1. 定義・解説
  2. 図解
  3. よくある質問
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連用語
  6. 比較・違いを学ぶ
  7. 出典・参考資料

定義・解説

LDMOS(Laterally Diffused MOS:横型拡散MOS)とは、電流がウェハの表面に沿って横方向に流れる構造のパワーMOSFETです。ドレインの近くに、不純物の濃度を低くした長い領域(ドリフト領域)を横向きに設け、高い電圧をこの領域で受け止めることで、通常のMOSFETより高い電圧に耐えられるようにしています。チャネルの部分は、不純物を拡散させて短く作ることから「拡散MOS」と呼ばれます。

LDMOSの大きな利点は、すべての電極がウェハの表面にあるため、通常のCMOSの回路と同じチップの上に作りやすいことです。この性質を生かして、バイポーラトランジスタ、CMOS、DMOS(LDMOS)を1つのチップにまとめたBCDプロセスが作られ、電源の制御IC、モーターのドライバ、車載用のICなど、数十Vまでの電圧を扱うアナログ・パワーのICで広く使われています。

もう1つの代表的な用途が、高周波の電力増幅器です。LDMOSは高い電力を効率よく増幅でき、長く携帯電話の基地局の送信用の増幅器の主役でした。ただし、より高い周波数と効率が求められる5Gの世代では、GaNのHEMTに置き換わりつつあります。一方、数百V以上の電圧を扱う用途では、電流を縦に流すトレンチMOSFETやスーパージャンクションMOSFET、SiCが使われます。

図解

LDMOSと縦型パワーMOSFETを、電流の向き・電極の位置・得意なこと・主な用途で比較した表
数百V以上ではスーパージャンクションMOSFETやSiCが使われる。

よくある質問(FAQ)

LDMOSと縦型のパワーMOSFETの違いは何ですか?
LDMOSは電流がウェハの表面に沿って横に流れ、すべての電極が表面にあります。縦型のパワーMOSFET(トレンチMOSFETなど)は、電流がウェハの表から裏へ縦に流れ、ドレインの電極が裏面にあります。LDMOSはほかの回路と1チップにしやすく、縦型は面積あたりに大きな電流と高い電圧を扱いやすいのが特長です。
BCDプロセスとは何ですか?
バイポーラトランジスタ(B)、CMOS(C)、DMOS(D、LDMOSなどのパワーMOS)を、1つのチップの上に作れるようにした製造プロセスです。アナログの精密な回路、デジタルの制御回路、電力を扱うスイッチを1チップにまとめられるため、電源の制御ICやモーターのドライバ、車載用のICに使われています。

設備の製造メーカー

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比較・違いを学ぶ

出典・参考資料

  1. 群馬大学 松田順一「高信頼性60-100V 用 n-LDMOSトランジスタ」(2026/10/19 確認)
  2. 群馬大学 松田順一「集積回路用高耐圧デバイス(EDMOS or LDMOS)の異常特性とSOAの拡張」(2026/10/19 確認)