ソークタイム（均熱時間）とは、加熱や冷却の途中で、目的の温度に保ったまま待つ時間のことです。物は外側から温まるため、温度を上げてすぐには内部や全体の温度がそろいません。一定の時間その温度に保つ（ソークする）ことで、ウェハや部品の全体を均一な温度にします。
熱処理では、炉やランプでウェハを加熱するとき、目的の温度に達した後に一定の時間保つ部分をソーク、その時間をソークタイムと呼びます。拡散や活性化の量は温度と時間の掛け合わせで決まるため、ソークタイムはそのまま処理の量を決める条件になります。ドーパントの拡散を抑えたい活性化のアニールでは、ソークタイムをほぼゼロにして、最高温度に達したらすぐに冷やすスパイクアニールが使われます。
後工程のリフロー（はんだ付け）では、はんだが溶ける温度の手前（150〜200℃前後）で60〜120秒程度保つ区間をソーク（プリヒート）と呼びます。ここで基板と部品の温度差をなくし、フラックスを働かせて表面の酸化膜を取り除いてから、はんだを溶かします。信頼性試験や温度試験でも、試料が設定した温度に十分なじむまで待つ時間をソークタイムと呼び、短すぎると試料の内部が目標の温度に達しないまま試験してしまうことになります。
