ボールマウンター・バンプ形成装置メーカー1社

ボールマウンターは、BGAやCSPのパッケージ基板、またはウェーハの電極パッドに、はんだボールを一括で搭載する装置です。フラックスを電極に転写・印刷したあと、穴の空いたマスクやツールでボールを各パッドへ振り込み、リフロー炉で溶かして外部接続端子(バンプ)にします。ボール径が小さくピッチが狭くなるほど、欠落やダブルボールを防ぐ搭載技術と、反った基板への対応が重要になります。ウェーハレベルパッケージ(WLCSP)ではウェーハ対応機が使われます。

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主要特徴

パッケージ基板やウェーハの電極にはんだボールを一括搭載する
フラックス転写→ボール搭載→リフローで外部接続端子を作る
基板対応機とウェーハ(WLCSP)対応機がある
微小ボール・狭ピッチ化で欠落・ダブルボールの検査と補修が重要
めっきや印刷によるバンプ形成と並ぶバンプ形成手段の一つ

よくある質問

はんだボールの搭載とバンプめっきはどう使い分けますか?▾
BGAやWLCSPの外部端子のように100µm以上の比較的大きいボールは、ボールマウンターで搭載するのが一般的です。フリップチップ用の微小バンプやマイクロバンプは、ピッチが狭いためめっきで形成します。用途とピッチで使い分けられています。
ボールマウンターで問題になる不良は何ですか?▾
パッドにボールが載らない欠落、1つのパッドに2個載るダブルボール、位置ずれ、ボール同士のブリッジなどです。多くの装置は搭載後に画像検査を行い、不良箇所を補修する機能を備えています。

メーカー

1社の主要メーカー

澁谷工業日本

石川県金沢市の産業機械メーカー。ボトリングシステムや製薬設備と並ぶ半導体製造システム事業で、はんだボールマウンタ、高精度ダイボンダ、フリップチップボンダ、ワイヤボンダ、テストハンドラを手掛ける。超音波洗浄装置のカイジョーはグループ会社。

バンプ形成装置
ハンダボールマウンタ(基板対応・ウェーハ対応)
実装・検査装置
高精度ダイボンダフリップチップボンダワイヤボンダテストハンドラ
  • •基板用・ウェーハ用のはんだボールマウンタ
  • •光通信デバイス・イメージセンサ向けの高精度ダイボンダ
会社詳細

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