DW-3100とは
DW-3100 は、SCREEN の先端パッケージ向けの直接描画露光装置です。マスクを使わずに先端パッケージの多様なニーズに対応し、高精細と高い生産性を両立しています。
独自開発の GLV（Grating Light Valve）描画ヘッドと光学システムで、世界最高水準の 1µm 以下の解像度を実現しました。
グローバル、ローカル、ダイごと（Die-by-die）の 3 種類のアライメントに対応します。製造プロセスに合わせて、ウェーハ対応と角型パネル対応を選べます。
主な特長
- •GLV 描画ヘッド
- •1µm 以下の解像度
- •3 種類のアライメント
- •ウェーハ／パネル対応
主な仕様
| 方式 | マスクレス直接描画（GLV 描画ヘッド） |
|---|---|
| 解像度 | 1µm 以下 |
| 対応基板 | ウェーハ・角型パネル（PLP 対応版あり） |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | Heidelberg InstrumentsMLA 300 | Heidelberg InstrumentsDWL 66+ | SCREENホールディングスDW-3100（直接描画露光装置） | ニコン（Nikon）DSP-100 |
|---|---|---|---|---|
| 解像度 | 1.5 µm | 可変（書込みヘッドを選択） | 1µm 以下 | 1.0µm L/S |
| 方式 | マスクレス露光（量産機） | レーザー直接描画（研究・試作機） | マスクレス直接描画（GLV 描画ヘッド） | — |
| 対応基板 | 最大 315 × 315 mm | — | ウェーハ・角型パネル（PLP 対応版あり） | — |
| 主要用途 | 工業生産（MES 連携） | 研究開発・プロトタイピング・マスク製作 | — | — |
1機種だけが掲載している項目（3件）
| 基板サイズ | — | — | — | 角型基板 〜600 × 600mm |
|---|---|---|---|---|
| 重ね合わせ精度 | — | — | — | ±0.3µm 以下 |
| スループット | — | — | — | 毎時 50 パネル（510 × 515mm 基板） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •先端パッケージの再配線パターン形成
- •パネルレベルパッケージ
掲載カテゴリ
DW-3100は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
SCREENホールディングス
半導体洗浄装置の世界的リーダー。表面処理、ダイレクト描画、画像処理の3大コア技術で、ナノレベルの高精度加工を実現。
レーザー直接描画装置のほかの製品
SCREENホールディングスのほかの製品
DT-3000（SOKUDO DUO）（コータ／デベロッパ）SU-3300（枚葉式洗浄装置）（ウェットエッチング装置）FC-3100（ウェットステーション）（バッチ洗浄装置）SU-3200（枚葉式洗浄装置）（ウェット洗浄装置）LA-3100（フラッシュランプアニール装置）（レーザーアニール装置）SU-3400（レジスト剥離装置（ウェット））スピンスクラバ SS-3200（ウェハスクラバ）WS-620C／WS-820C／WS-820L（ウェットステーション）（バッチ洗浄装置）FC-821L（ウェットステーション）（バッチ洗浄装置）CW-2000（コンパクトウェットステーション）（バッチ洗浄装置）SU-2000（枚葉式洗浄装置）（シングルウェハ洗浄装置）SP-2100（スピンプロセッサ）（ウェットエッチング装置）SS-3300S（スピンスクラバ）（ウェハスクラバ）SS-80EX（スピンスクラバ）（ウェハスクラバ）SB-3300（ウェーハ裏面洗浄装置）（ウェハスクラバ）RF-200EX／RF-300EX（コータ・デベロッパ）（コータ／デベロッパ）SK-60EX／SK-80EX（コータ・デベロッパ）（コータ／デベロッパ）SC-80EX（スプレーコータ）（コータ／デベロッパ）RE-3500（エリプソ式膜厚測定装置）（エリプソメータ）VM-2500／VM-3500（光干渉式膜厚測定装置）（膜厚計測装置）VM-1200／VM-1300（光干渉式膜厚測定装置）（膜厚計測装置）VM-1020（光干渉式膜厚測定装置）（膜厚計測装置）ZI-3600（パターン付きウェーハ外観検査装置）（マクロ検査装置）ZI-2000（パターン付きウェーハ外観検査装置）（マクロ検査装置）DR-8000（自動線幅測定装置）（マスク寸法・平面度測定装置）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07