CELLESTA™-i（枚葉洗浄装置）

東京エレクトロンの 300mm 対応枚葉洗浄装置。最大 20 ユニットの洗浄チャンバーを搭載し、クリーンルーム占有面積あたりの生産性を高めている。

CELLESTA-iとは

CELLESTA-i は、東京エレクトロンの 300mm ウェーハ対応枚葉洗浄装置です。生産性を高めながら装置のフットプリントを抑え、従来装置に比べてクリーンルーム占有面積を大幅に減らしました。

最大 20 ユニットの洗浄チャンバーを搭載でき、1m² あたりの生産性は世界最高水準とされています。低 CoO 化のための薬液リサイクル技術や、ウェーハ上のパーティクルを取り除く物理洗浄装置も搭載します。ウェーハ外周部に特化したベベル洗浄ユニットや、少ない薬液で裏面を洗う裏面洗浄ユニットも載せられ、拡張性が高い装置です。

シリーズには、10nm ノード以細の洗浄プロセスに対応し、パターン倒壊を抑えた乾燥性能を持つ CELLESTA-i MD と、2流体スプレーとブラシで両面を同時に物理洗浄する CELLESTA MS2 があります。

主な特長

•最大 20 チャンバー、1m² あたり世界最高水準の生産性
•薬液リサイクルによる低 CoO
•物理洗浄・ベベル洗浄・裏面洗浄ユニットを搭載可能

主な仕様

対応ウェハ径	300 mm
方式	枚葉式
チャンバー構成	最大 20 チャンバー
主な技術	薬液リサイクル・物理洗浄・ベベル洗浄・裏面洗浄ユニット
関連機種	CELLESTA-i MD（10nm 以細向け）・CELLESTA MS2（両面物理洗浄）

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	SCREENホールディングスSU-3300（枚葉式洗浄装置）	東京エレクトロン（TEL）CELLESTA™-i（枚葉洗浄装置）
方式	枚葉式	枚葉式
チャンバー構成	最大 24 チャンバー（4段×6タワー）	最大 20 チャンバー
主な技術	パターン倒壊を抑える乾燥技術・APAC2	薬液リサイクル・物理洗浄・ベベル洗浄・裏面洗浄ユニット

1機種だけが掲載している項目（3件）

主要用途	先端デバイスの洗浄	—
対応ウェハ径	—	300 mm
関連機種	—	CELLESTA-i MD（10nm 以細向け）・CELLESTA MS2（両面物理洗浄）

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。