斜光照明とは、対象物に光を真上（垂直）からではなく、斜めの方向から当てる照明のことです。半導体では、露光装置での変形照明（斜入射照明）と、欠陥検査での暗視野の照明という、2つの重要な使われ方があります。
露光装置の変形照明（オフアクシス照明）は、マスクに斜めから光を当てて解像度と焦点深度を高める技術です。細かいパターンで光が回折すると、垂直に当てた場合は1次以上の回折光がレンズに入りきらず、像ができません。斜めから当てると、0次の光と片側の1次の光の両方がレンズに入るため、より細かいパターンまで像を結べます。照明の形には、輪の形の輪帯照明、2つの点のダイポール、4つの点の四重極などがあり、パターンに合わせて最適な形を計算する技術（SMO）に発展しています。
欠陥検査では、ウェハに斜めから光を当て、正反射した光ではなく、欠陥で散乱された光だけを検出する暗視野の方式が使われます。平らな表面は光を一方向に反射するため暗く見え、パーティクルや傷だけが明るく光って見えるので、波長よりはるかに小さい欠陥も見つけられます。ウェハの表面検査装置（LPDの検出）は、この原理を使っています。
