装置・材料メーカー
光学設計エンジニア（露光・検査装置）
最終更新：2026-09-28
この職種は何をするのか
光学設計エンジニアは、露光装置の投影レンズ・照明系や、ウェハ・マスクの検査装置の光学系を設計する職種です。露光装置では数十枚のレンズやミラーを組み合わせ、ナノメートル単位のパターンを歪みなく焼き付ける光学系を作ります。EUV露光では光を通すレンズが使えず、多層膜ミラーだけで光学系を組むため、設計・製造・計測のすべてが極限の精度になります。
仕事内容
光学系の設計と収差補正
開口数（NA）・視野・波長の仕様から、レンズやミラーの枚数・形状・配置を設計し、収差を許容値以下に抑えます。光学設計ソフトでの最適化が日常業務です。
照明系と光源の設計
光源の光を均一にし、輪帯照明などの照明形状を作る照明系を設計します。エキシマレーザーやEUV光源の特性を踏まえた設計が必要です。
公差解析と組立調整
レンズの形状誤差や組立のずれが性能にどう効くかを解析し、製造公差と調整方法を決めます。干渉計による波面計測で組み上がった光学系を評価します。
検査装置の光学系
欠陥検査装置では、微小な欠陥からの散乱光を捉える光学系を設計します。解像力と検査速度（スループット）の両立が課題です。
担当する工程・装置
必要になる知識・用語
主な企業
関連する技術比較
よくある質問
どんな分野の出身者が多いですか？
光学・応用物理・精密工学の出身者が中心です。幾何光学と波動光学の両方の基礎が必要で、研究室で光学設計ソフトを使った経験があると即戦力として見られます。
日本企業に光学設計の仕事はありますか？
ニコンやキヤノンが露光装置の光学系を自社で設計・製造しており、レーザーテックなど検査装置メーカーにも光学設計者がいます。カメラ・顕微鏡の光学技術が半導体装置に活きている分野です。
EUVの光学は何が特別ですか？
波長13.5nmの光はほとんどの物質に吸収されるため、レンズではなく多層膜のミラーで反射させて像を作ります。ミラーの形状誤差は原子数個分以下が求められ、製造と計測も含めて極めて難度の高い分野です。