SPTS Omega® Rapier™

ボッシュ法による高速の深堀りシリコンエッチング（DRIE）モジュール。KLA は 1,500 以上の DRIE モジュールの実績を持つ。

SPTS Omega Rapierとは

SPTS Omega の Rapier と DSi-v のプロセスモジュールは、KLA（SPTS）の高速シリコンエッチングのモジュールです。深堀りシリコンエッチング（DRIE）では、エッチング（SF₆）と保護膜（C₄F₈）の工程を繰り返すボッシュ法で、シリコンに異方性の溝や穴を掘ります。

KLA は 1,500 以上の DRIE プロセスモジュールの導入実績を持ち、MEMS などの深堀りシリコンエッチングで数十年の経験があります。

Rapier は、独立して制御する 1 次・2 次のデカップルドプラズマ領域と独立した 2 系統のガス導入を持つデュアルプラズマ源の設計です。ラジカルを高濃度で均一に分布させ、高いエッチング速度、ウェーハ全面の優れた均一性、CD・形状・傾きの制御を、最大 300mm のウェーハで実現します。

主な特長

•ボッシュ法の DRIE
•デュアルプラズマ源
•最大 300mm
•1,500 モジュール以上の実績

主な仕様

方式	DRIE（ボッシュ法・デュアルプラズマ源）
対応ウェハ径	最大 300 mm
実績	DRIE プロセスモジュール 1,500 以上

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	東京エレクトロン（TEL）Tactras™	Suss MicroTecMA8 Gen5（マスクアライナー）	EV GroupEVG®510（ウェーハ接合装置）	Lam ResearchDSiE™（深堀りシリコンエッチング）	KLASPTS Omega® Rapier™	KLAPrimaxx® Monarch 300	KLAXactix® X4	KLAMVD300®	アドバンテストHA7200（温度・圧力ユニット）	アドバンテストHA7300（Stimulus Test Cell）	ULVAC（アルバック）NLD-570（ドライエッチング装置）	ULVAC（アルバック）NLD-5700（ドライエッチング装置）
方式	反応性イオンエッチング（RIE）	—	—	深堀りシリコンエッチング（ボッシュ法・定常法）	DRIE（ボッシュ法・デュアルプラズマ源）	気相 HF（VHF）エッチング	XeF₂ 気相エッチング（パルス・連続）	分子気相成膜（MVD）	ダイレクト温度印加・小型チャンバ・専用圧力コントローラ	—	磁気中性線プラズマ（NLD）・低圧・低電子温度・高密度	磁気中性線プラズマ（NLD）
主要用途	高アスペクト比エッチング	MEMS・LED・マイクロ光学・光センサー	MEMS のキャップ接合・気密封止	MEMS・パワーデバイスのトレンチ・WLP の TSV	—	—	MEMS デバイスのリリース	MEMS の固着防止膜・腐食防止膜	—	—	光デバイス・マイクロレンズ・フォトニック結晶・μ-TAS	—
対応ウェハ径	300 mm	最大 200 mm	小片～ 200 mm	—	最大 300 mm	200／300 mm	—	—	—	—	—	—
対象	—	—	—	—	—	—	—	—	車載用などの圧力センサ	ディーゼル排気系の差圧センサなど	石英・ガラス・水晶・LN・LT 基板	石英・ガラス・水晶・LN・LT 基板
特徴	—	SUSS レベリングシステム・クラスターへの組み込み可	—	—	—	—	特許のデュアル膨張室	—	—	—	—	—
構成	—	—	—	—	—	—	—	MVD300・MVD300E（EFEM 付き全自動）	—	—	—	カセット室標準・エッチング／アッシング室を追加可能

1機種だけが掲載している項目（10件）

チャンバー構成	最大 6 チャンバー（水平対向設計）	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
露光方式	—	マスクアライナー（インプリント対応）	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
接合方式	—	—	陽極・ガラスフリット・はんだ・共晶・TLP・直接接合	—	—	—	—	—	—	—	—	—
最大荷重・温度	—	—	10／20／60 kN、最高 550°C	—	—	—	—	—	—	—	—	—
ラインアップ	—	—	—	DSiE III・DSiE F Series・DSiE G Series	—	—	—	—	—	—	—	—
実績	—	—	—	—	DRIE プロセスモジュール 1,500 以上	—	—	—	—	—	—	—
処理	—	—	—	—	—	1 バッチ最大 13 枚・最大 6 モジュール	—	—	—	—	—	—
連携	—	—	—	—	—	—	—	—	EVA100・ハンドラとのセンサテストセル	—	—	—
温度制御	—	—	—	—	—	—	—	—	—	8 個一括（低温用／高温用の温調プレート）	—	—
圧力	—	—	—	—	—	—	—	—	—	2Port 圧力コントローラ・圧力印加ノズル	—	—