最終更新 2026-10-19

3D DRAMとは(三次元DRAM)

3D DRAM

3D DRAMとは、DRAMのメモリセルを3D NANDのように縦に何層も積み、同じ面積あたりの容量を増やそうとする次世代のDRAMです。平面の微細化が限界に近づいたことが背景で、横向きのトランジスタとキャパシタを積む構造やIGZOをチャネルに使う方法が検討されています。2030年前後の実用化をめざして開発が進んでいます。

目次7項目
  1. 定義・解説
  2. 図解
  3. よくある質問
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連用語
  6. 比較・違いを学ぶ
  7. 出典・参考資料

定義・解説

3D DRAM(三次元DRAM)とは、DRAMのメモリセルをウェハの面内に並べるだけでなく、3D NANDのように縦方向に何層も積み重ねて、同じ面積あたりの容量を増やそうとする次世代のDRAMです。従来のDRAMは、トランジスタ1個とキャパシタ1個のセル(1T1C)を平面に並べ、微細化で容量を増やしてきました。しかし、セルの間隔が10nm台前半まで縮み、キャパシタを細く高くする方法も限界に近づいています。

研究されている代表的な構造は、トランジスタとキャパシタを横向きに寝かせたセルを何十層も積み、縦に通したビット線で各層をつなぐ方式です。シリコンとシリコンゲルマニウムを交互に積んで作る方法や、層を作りやすい酸化物半導体(IGZOなど)をチャネルに使う方法が検討されています。キャパシタを使わず、トランジスタの浮いた領域に電荷をためる方式(1T)も提案されています。

3D NANDと違い、DRAMは高速な読み書きと、漏れの少ないキャパシタの両方が必要なため、積層しながら性能をそろえる難しさがあります。深い穴や溝を均一に加工するエッチング、横向きのキャパシタを作る成膜、周辺回路をセルの下や別ウェハに置く構造(CUA・CBA)など、3D NANDで培った技術が応用されます。各社は2030年前後の実用化をめざして開発を進めています。

図解

平面DRAMと3D DRAMを容量の増やし方・セルの向き・チャネル材料・課題で比較した表
3D DRAMの構造は各社・研究機関で異なり、まだ標準は決まっていない。

よくある質問(FAQ)

3D DRAMとHBMの違いは何ですか?
HBMは、完成したDRAMのチップを何枚も重ね、TSVで縦につないだパッケージの技術です。3D DRAMは、1枚のチップの中でメモリセルそのものを縦に積み上げる技術です。将来は3D DRAMのチップを重ねたHBMのように、両方を組み合わせることも考えられます。
3D DRAMはなぜ3D NANDより難しいのですか?
DRAMは高速に読み書きするために性能のそろったトランジスタと、電荷を保てる大きなキャパシタが必要で、これを何十層も均一に作るのが難しいためです。3D NANDは電荷をためる膜を縦の穴に沿って作るだけで済み、構造が比較的単純です。

設備の製造メーカー

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比較・違いを学ぶ

出典・参考資料

  1. imec「Capacitor-less IGZO-based DRAM cell with excellent retention, endurance and gate length scaling」(2026/10/19 確認)