irArcher 007とは
irArcher 007 は、KLA の重ね合わせ計測装置です。先端のウェーハ・ツー・ウェーハ（W2W）アライメント接合工程の重ね合わせ性能を評価・監視します。
短波長赤外（SWIR）の照明で基板越しに計測ターゲットの信号を低ノイズで得て、研削前の接合ウェーハの重ね合わせを正確に測ります。新しいフォーカス機構で、ウェーハ内・ウェーハ間の測定を非常に速く行い、複数の接合装置に対応します。
工場の自動化と統合、KPI、APC（先進プロセス制御）の基盤、反りの大きい接合ウェーハの取り扱いなど、量産向けの機能を持ちます。3D ヘテロジニアス集積の W2W 接合の監視と改善に使われます。
主な特長
- •SWIR で基板越しに計測
- •高速フォーカス
- •反りの大きい接合ウェーハに対応
主な仕様
| 方式 | 短波長赤外（SWIR）照明の重ね合わせ計測 |
|---|---|
| 対象 | 研削前の接合ウェーハ（反りの大きいもの含む） |
| 特徴 | 工場自動化・APC 対応 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 東京エレクトロン（TEL）Ulucus™ L | 東京エレクトロン（TEL）Ulucus™ LX | KLAirArcher® 007 |
|---|---|---|---|
| 方式 | レーザエッジトリミング（ドライプロセス） | レーザ剥離＋ウェーハ分離＋洗浄 | 短波長赤外（SWIR）照明の重ね合わせ計測 |
| ベース | 塗布現像装置のプラットフォーム | LITHIUS Pro Z プラットフォーム | — |
1機種だけが掲載している項目（4件）
| 対応ウェハ径 | 300 mm | — | — |
|---|---|---|---|
| 効果 | — | 純水使用量を従来比 90% 以上削減 | — |
| 対象 | — | — | 研削前の接合ウェーハ（反りの大きいもの含む） |
| 特徴 | — | — | 工場自動化・APC 対応 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •W2W ハイブリッド接合の重ね合わせ管理
掲載カテゴリ
irArcher 007は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ハイブリッドボンディング装置のほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）Therma-Probe® 780（イオン注入量測定装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES A301 microRSP®（シート抵抗測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Voyager® 1035（欠陥検査装置）8935（8 シリーズ）（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））CryoTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））PlasmaSuite（プロセスモニター（EPD/OES））Surfscan® SC1（ウェハ基板検査装置）Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）Quali-Line® Prima® 2（薬液供給システム）QualiSurf®（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07