Teron 6xx シリーズとは
Teron 6xx シリーズは、KLA のマスクショップ向けレチクル（フォトマスク）欠陥検査装置です。レチクルの欠陥は全チップに繰り返し転写されるため、1つの欠陥でも深刻な歩留まり低下につながります。そのためマスク製造の各段階で高感度の検査が欠かせません。
EUV 用と光露光用のパターン付きレチクルの重要なパターン欠陥とパーティクルを検出します。設計データと比較するダイ・トゥ・データベース方式と、ダイ同士を比較するダイ・トゥ・ダイ方式の検査モードを持ち、幅広いレチクルの膜スタックを扱えます。
曲線パターンや複雑な OPC 構造（パス・マルチゴン設計）にも対応し、先進の光学系と画像処理、ディープラーニングの AI アルゴリズムで重要欠陥を捉えます。マスク製造の厳しい清浄度要件も満たしています。シリーズには Teron 647eS2、647eS、647e、647、637 があります。
主な特長
- •EUV・光露光用レチクルのパターン欠陥とパーティクルを検出
- •ダイ・トゥ・データベース／ダイ・トゥ・ダイの検査モード
- •曲線・複雑な OPC 構造に対応
- •ディープラーニング AI による重要欠陥の検出
主な仕様
| 検査対象 | EUV・光露光用パターン付きレチクル |
|---|---|
| 検出方式 | ダイ・トゥ・データベース／ダイ・トゥ・ダイ |
| シリーズ構成 | Teron 647eS2／647eS／647e／647／637 |
| 主要用途 | マスクショップのレチクル品質認定・出荷検査 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •マスクショップのレチクル品質認定・プロセス管理
- •出荷前のレチクル品質チェック
掲載カテゴリ
Teron 6xx シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
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出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06